Recipe管理方法和系统以及半导体设备控制系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于半导体设备的Recipe管理方法、Recipe管理装置及半导体设备控制系统。该Recipe管理方法包括：判断RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括预先设置的循环步骤标识，所述循环步骤标识用于标识所述RecipeStep信息中的循环Step内容；若判断出所述RecipeStepName中包括所述循环步骤标识，根据获取的所述循环Step内容和所述循环步骤标识执行Recipe操作指令；若判断出所述RecipeStepName中未包括所述循环步骤标识，根据所述RecipeStep信息逐步执行Recipe操作指令。该用于半导体设备的Recipe管理方法对于循环Step内容无需执行重复操作，减少了人力和资源的浪费，从而减少了操作时间的开销。

【技术实现步骤摘要】
Recipe管理方法和系统以及半导体设备控制系统
本专利技术涉及微电子
，特别涉及一种用于半导体设备的Recipe管理方法和Recipe管理系统以及半导体设备控制系统。
技术介绍
Recipe即工业自动化制造中的秘方，其内容可包含工艺加工过程中的多个步骤以及各个步骤的各种工艺参数值和该步骤的持续时间。在工业自动化制造过程中，设备可依据Recipe的内容完成对物料的加工，加工出的产品的质量可通过调整Recipe来改进，所以一个先进的Recipe对提升产品价值有着非常重要的作用，尤其是在半导体生产业中。图1为一种半导体工艺系统的示意图，如图1所示，半导体工艺系统包括工厂主机(fabhost)、通过工厂接口与工厂主机通信连接的上位机和与上位机通信连接的下位机，其中工厂接口通过以太网(Ethernet)连接工厂主机。Recipe的管理可由系统中的下位机来实现。而上位机可提供形象的操作界面，以供用户直观的进行Recipe管理工作。下位机程序是存储和管理Recipe的实体，Recipe实体(RecipeBody)是工艺数据的存储实体，包括XML文件和RecipeBody对象两种形式。RecipeBody对象是通过解析与其对应的XML文件创建的，而对该RecipeBody对象的保存则是将工艺数据存储到相应的XML文件中。文件格式上，RecipeBody的XML文件除了要遵循XML格式规范外，还要遵守一些特殊要求，下面通过一个实际的例子对XML文件的内容和格式要求进行详细的说明。图2为RecipeBody的XML文件的示意图，如图2所示，该XML文件的名称是Process_rcp1_2.xml，该XML文件保存了所遵循的“工艺参数列表”的信息和4个步骤(step)的工艺数据信息。对该XML文件的详细说明如下：第3行与第39行：定义了名称为“RecipeBody”的节点。第4行至第10行：保存的是“工艺参数列表”的信息，这与“Process”类的执行器中所定义的完全一致。此处的“工艺参数列表”只是一个映射，对该“工艺参数列表”所做的任何修改都不会影响执行器中的模板定义，在这里保存该“工艺参数列表”的目的是为了方便用户阅读和理解XML文件。第11行与第17行：定义了一个名为“Step”的节点，表示ProcessRecipe中的一个step，它的属性“index”标明了该step的索引，“name”是该step的名称。第12行至第16行：定义了step1下的5个名为“Value”的节点，该5个名为“Value”的节点表示“工艺参数列表”中各个工艺参数在step1中对应的具体数值。“Value”节点的“param”属性记录了对应的“工艺参数”的名称，“value”属性保存着“工艺参数”的具体数值。第18行至第38行：依次定义了step2、step3和step4的相关内容。上位机程序通过定义RemoteProcessRcpInfo，RemoteRecipeInfo以及StepInfo三个类来实现下位机程序对RecipeBody对象的描述。RemoteRecipeInfo是一个包裹类，封装了远程Recipe信息。上位机程序会根据客户程序的请求从下位机程序获取指定Recipe的信息，然后将信息包裹为该类的一个实例并返回给客户端程序。RemoteProcessRcpInfo是一个包裹类，封装了远程RecipeStep的所有工艺步骤信息。StepInfo是一个包裹类，封装了某个Step的具体工艺步骤信息。用户可通过上位机的操作界面进行Recipe的管理，例如：查看Recipe、编辑Recipe、保存Recipe、导出Recipe等操作。图3是现有技术中以Recipe操作指令为查看Recipe指令的Recipe管理方法流程图。如图3所示，该方法包括：步骤301、下位机接收上位机发送的查看Recipe指令，该查看Recipe指令包括Recipe的类别名、名称和版本号。步骤302、下位机根据该Recipe的类别名、名称和版本号生成RecipeID。步骤303、下位机查询是否存储有该RecipeID，若是，则执行步骤304；若否，则执行步骤301。本步骤中，若下位机查询出未存储有该RecipeID，则返回执行步骤301，接收上位机发送的查看其它Recipe的指令。步骤304、下位机获取与该RecipeID对应的Recipebody对象。步骤305、下位机将Recipebody对象封装为远程工艺秘方信息(RemoteProcessRcpInfo)，查询出与RemoteProcessRcpInfo对应的RecipeStep信息和Recipe附加信息。本实施例中，RecipeStep信息可包括RecipeStepName和循环Step内容，Recipe附加信息可包括创建时间、创建用户信息和修改时间等。RemoteProcessRcpInfo是一个包裹类，本步骤中该RemoteProcessRcpInfo中封装了Recipebody对象。步骤306、下位机将RecipeStep信息和Recipe附加信息发送给上位机，以使上位机获取到RecipeStep信息和Recipe附加信息。步骤307、上位机将RecipeStep信息在DataGridView控件中显示。例如：用户请求查看“Preclean1”模块下名称为“test”的Recipe，根据上述步骤301至步骤307的流程，执行步骤307之后显示界面如图4所示。图4为依据图3中显示的流程图查看得到的Preclean1模块中名称为test的Recipe的示意图，此Recipe中循环的Step内容逐行显示在DataGridView中。用户通过下位机实现Recipe管理时，通常是逐步执行对Recipe的操作，例如：用户在实现创建Recipe或者编辑Recipe时，需要逐步创建或者编辑该Recipe。但是，对于存在一步或者连续多步的循环Step时，例如半导体设备中的物理气相沉积(PhysicaiVaporDeposition，简称：PVD)设备的Recipe，用户在对该工艺设备的Recipe进行管理时仍然需要逐步执行该半导体设备Recipe中的循环Step，导致用户对同一循环Step执行重复操作，造成了人力和资源的浪费，从而增加了操作时间的开销，具体包括：1、下位机控制程序方面，未考虑到一步或者连续多步的循环Step的特性，在管理过程中，多次对相同的Step重复操作，从而增加了操作时间的开销。2、上位机人机界面方面，未考虑一步或者连续多步的循环Step的特性，在界面显示过程中，增加用户查看Recipe内容的负担，从而增加了用户操作时间的开销。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提供一种用于半导体设备的Recipe管理方法、Recipe管理装置以及半导体设备控制系统，其可以减少操作时间的开销。为实现上述目的，本专利技术提供一种用于半导体设备的Recipe管理方法，包括：判断RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括预先设置的循环步骤标识，所述循环步骤标识用于标识所述RecipeStep信息中的循环Step内容；若判断出所述RecipeStepName中包括所述循环步骤标识，根据本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体设备的Recipe管理方法，其特征在于，包括：判断RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括预先设置的循环步骤标识，所述循环步骤标识用于标识所述RecipeStep信息中的循环Step内容；若判断出所述RecipeStepName中包括所述循环步骤标识，根据获取的所述循环Step内容和所述循环步骤标识执行Recipe操作指令；若判断出所述RecipeStepName中未包括所述循环步骤标识，根据所述RecipeStep信息逐步执行Recipe操作指令。

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，包括：判断秘方步骤信息的秘方步骤名称中是否包括预先设置的循环步骤标识，所述循环步骤标识用于标识所述秘方步骤信息中的循环步骤内容；若判断出所述秘方步骤名称中包括所述循环步骤标识，根据获取的所述循环步骤内容和所述循环步骤标识执行秘方操作指令,具体地，所述根据获取的所述循环步骤内容和所述循环步骤标识执行秘方操作指令包括：从所述循环步骤标识中解析出循环起始索引、循环终止索引和循环次数以及从所述秘方步骤信息中获取的循环步骤内容，以及；根据所述循环步骤内容、所述循环起始索引、所述循环终止索引和所述循环次数执行秘方操作指令；若判断出所述秘方步骤名称中未包括所述循环步骤标识，根据所述秘方步骤信息逐步执行秘方操作指令。2.根据权利要求1所述的用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，所述秘方操作指令包括查看秘方指令；所述根据循环步骤内容、所述循环起始索引、所述循环终止索引和所述循环次数执行秘方操作指令包括：根据所述循环起始索引、所述循环终止索引和所述循环次数定义重叠数据格视图控件，所述重叠数据格视图控件包括一个或者多个重叠数据格行；将所述循环步骤内容设置为所述重叠数据格行的子行；将所述重叠数据格视图控件添加到所述数据格视图控件中；将所述秘方步骤信息在所述数据格视图控件中显示。3.根据权利要求2所述的用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，所述重叠数据格行用于标识所述循环步骤内容的折叠行。4.根据权利要求1所述的用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，所述循环起始索引用于表示所述秘方步骤信息中所述循环步骤内容的起始点，所述循环终止索引用于表示所述秘方步骤信息中所述循环步骤内容的终止点，所述循环次数用于表示重复执行所述循环步骤内容的次数。5.根据权利要求4所述的用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，所述循环步骤标识表示为[i,j；loopcount],其中，i为循环起始索引，j为循环终止索引，loopcount为循环次数，所述循环步骤标识表明该循环步骤内容为重复执行循环次数次步骤i到步骤j的内容。6.根据权利要求4所述的用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，所述循环起始索引为正整数，所述循环终止索引为正整数，且所述循环终止索引大于所述循环起始索引。7.一种用于半导体设备的秘方管理系统，其特征在于，包括：判断模块，用于判断秘方步骤信息的秘方步骤名称中是否包括循环步骤标识；第一执行模块，用于若所述判断模块...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈玉静，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：