一种柔性太赫兹波调制器制造技术

本发明专利技术公开了一种柔性太赫兹波调制器，包括介质基板（1）和附着于介质基板（1）表面的电磁共振器阵列（2），所述的介质基板（1）为柔性介质材料聚酰亚胺，简称PI；所述的电磁共振器阵列（2）由多个电磁共振器单元构成，该电磁共振单元由沉积于介质基板（1）表面的VO2或者V2O5纳米薄膜形成，纳米薄膜的厚度为100～600nm。本发明专利技术提供了一种制备过程简单，易于控制、稳定可靠的低光功率下的新型基于柔性基底的太赫兹调制器，为柔性基底集成电路新型器件提供了应用基础。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种柔性太赫兹波调制器，包括介质基板（1）和附着于介质基板（1）表面的电磁共振器阵列（2）；其特征在于，所述的介质基板（1）为柔性介质材料基板；所述的电磁共振器阵列（2）由多个电磁共振器单元构成，该电磁共振单元由沉积于介质基板（1）表面的VO2或者V2O5纳米薄膜形成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡明，韦晓莹，武雅乔，夏晓旭，朱乃伟，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：