传感器电路和对微机电系统传感器进行测试的方法技术方案

本申请涉及传感器电路和对微机电系统传感器进行测试的方法。一种传感器电路，包括微机电系统(MEMS)传感器和集成电路(IC)，所述MEMS传感器包括第一电容元件和第二电容元件，所述IC包括开关网络电路和电容测量电路。所述开关网络电路配置成将所述MEMS传感器的所述第一电容元件与所述IC的第一输入端电解耦，并且将所述第二电容元件电耦合到所述IC的第二输入端。所述电容测量电路可配置成在向该被解耦的第一电容元件施加第一电信号期间测量所述MEMS传感器的所述第二电容元件的电容。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种传感器电路，包括：微机电系统(MEMS)传感器，包括第一电容元件和第二电容元件；以及IC，包括：开关网络电路，配置成将所述MEMS传感器的所述第一电容元件与所述IC的第一输入端电解耦，并且将所述第二电容元件电耦合到所述IC的第二输入端；以及电容测量电路，配置成在向被解耦的第一电容元件施加第一电信号期间测量所述MEMS传感器的所述第二电容元件的电容。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔纳森·亚当·克莱克斯，约恩·奥普里斯，贾斯廷·森，
申请(专利权)人：快捷半导体苏州有限公司，快捷半导体公司，
类型：发明
国别省市：