【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基片加热炉，其包括圆筒形的炉体，所述炉体外壁设置有隔热层，其特征在于：所述炉体内设置与所述炉体同轴的环形电加热丝，及连接所述电加热丝的电极；所述电加热丝呈螺旋形设置在所述炉体内侧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴向方，梁玉生，吴煦，
申请(专利权)人：苏州圆芯光机电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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