【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种筒体，包括：多个物体支撑杆，互相平行布置，多个沟槽形成在所述物体支撑杆的表面中，使得具有平板形状的待被处理的物体安装成在垂直于沟槽长度方向的方向直立在沟槽上；两个侧板，分别用于可旋转地安装所述多个物体支撑杆的两端；以及旋转装置，用于通过旋转所述物体支撑杆来旋转所述物体，其中，在所述物体支撑杆中形成有用于将处理流体喷射至物体的处理流体喷射孔和用于将处理流体供应至所述处理流体喷射孔的处理流体通道。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：崔恩硕，李在桓，金奉佑，刘桓守，安镇佑，
申请(专利权)人：LG矽得荣株式会社，
类型：发明
国别省市：
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