抗反射涂料组合物制造技术

本发明专利技术涉及抗反射涂料组合物，其包含（i）热致酸产生剂；（ii）包含至少一种芳族基团的可交联聚合物；和（iii）包含至少一种结构（6）单元的聚合物型交联剂，其中R11-R13独立地选自H、（C1-C6）烷基和芳族基团，R14和R15独立地是（C1-C10）烷基。本发明专利技术还涉及使本发明专利技术抗反射涂料组合物成像的方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
抗反射涂料组合物，包含（i）热致酸产生剂；（ii）包含结构（3）和（4）的单元的可交联丙烯酸酯聚合物，其中，R2?R7独立地选自H、C1?C6烷基和C1?C6亚烷基羟基，R8是非芳族基团，R9包含芳族结构部分，该芳族结构部分选自未取代的苯基；和（iii）包含至少一种结构（6）单元的聚合物型交联剂，其中R11?R13独立地选自H、（C1?C6）烷基和芳族基团，R14和R15独立地是（C1?C10）烷基。FDA00003399670600011.jpg,FDA00003399670600012.jpg

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金羽圭，吴恒鹏，D·J·阿布达拉，M·内瑟，卢炳宏，张汝志，M·D·拉曼，
申请(专利权)人：AZ电子材料美国公司，
类型：发明
国别省市：