直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法技术

技术编号:9253823 阅读:168 留言:0更新日期:2013-10-16 20:26
本发明专利技术涉及一种直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法,包括:将未转移的CVD石墨烯连同金属衬底一起放入密闭腔体中,抽真空后通入惰性气体,然后加热,再通入与石墨烯反应的气体,待反应结束后停止加热,停止通入反应气体,保持惰性气体保护,最后降至室温,置于光学镜下观察即可。本发明专利技术的观察方法重复性高、简单易行;本发明专利技术通过选择性刻蚀的方法,使CVD石墨烯表面褶皱附近的石墨烯大量去除,从而通过低放大倍数的光学显微镜就可以观察到纳米级褶皱的分布情况。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法,包括:将未转移的CVD石墨烯连同金属衬底一起放入密闭腔体中,抽真空后通入惰性气体,然后加热,再通入与石墨烯反应的气体,待反应结束后停止加热,停止通入反应气体,保持惰性气体保护,最后降至室温,置于光学镜下观察即可。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张燕辉于广辉陈志蓥王彬张浩然
申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
类型:发明
国别省市:

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