【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法,包括:将未转移的CVD石墨烯连同金属衬底一起放入密闭腔体中,抽真空后通入惰性气体,然后加热,再通入与石墨烯反应的气体,待反应结束后停止加热,停止通入反应气体,保持惰性气体保护,最后降至室温,置于光学镜下观察即可。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张燕辉,于广辉,陈志蓥,王彬,张浩然,
申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所,
类型:发明
国别省市:
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