一种微流道模具的制作方法技术

一种微流道模具的制作方法，首先制作微流道玻璃掩模板；清洗和烘烤硅片基板；在硅片基板的抛光面上滩涂SU8-2025光刻胶；前烘光刻胶；对硅片基板上的光刻胶进行光刻曝光；对光刻曝光后的光刻胶进行后烘；采用SU8显影液对光刻胶硅片基板进行显影；在硅片的抛光面上再次滩涂SU8-2025光刻胶并前烘；对硅片基板上的光刻胶进行套刻曝光；对套刻曝光后的光刻胶进行后烘；采用SU8显影液对套刻曝光后的硅片基板进行显影；清洗硅片基板模具上的微流道；对硅片基板模具上的微流道进行检测。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微流道模具的制作方法，其特征在于：1)首先制作微流道玻璃掩模板；2)清洗和烘烤硅片基板；3)在硅片基板的抛光面上滩涂SU8?2025光刻胶；4)前烘光刻胶；5)对硅片基板上的光刻胶进行光刻曝光；6)对光刻曝光后的光刻胶进行后烘；7)采用SU8显影液对光刻胶硅片基板进行显影；8)在硅片的抛光面上再次滩涂SU8?2025光刻胶并前烘；9)对硅片基板上的光刻胶进行套刻曝光；10)对套刻曝光后的光刻胶进行后烘；11)采用SU8显影液对套刻曝光后的硅片基板进行显影；12)清洗硅片基板模具上的微流道；13)对硅片基板模具上的微流道进行检测。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建刚，刘莉君，
申请(专利权)人：陕西理工学院，
类型：发明
国别省市：