具有金属硫氧化物窗口层的光伏装置制造方法及图纸

技术编号:9241467 阅读:153 留言:0更新日期:2013-10-10 05:28
本发明专利技术描述了光伏装置和基底结构的装置和方法。在一个实施例中,光伏装置包括基底和形成在基底上方的MS1-XOX窗口层,其中,M是由Zn、Sn和In组成的组中的元素。另一实施例意在一种制造光伏装置的工艺,所述制造光伏装置的工艺包括通过溅射、蒸发沉积、CVD、化学浴沉积工艺和气相传输沉积工艺中的至少一种在基底上方形成MS1-XOX窗口层,其中,M是由Zn、Sn和In组成的组中的元素。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:邵锐马库思·格鲁克勒尔本雅明·布勒
申请(专利权)人:第一太阳能有限公司
类型:
国别省市:

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