一种至少具有研磨层和垫层的研磨垫，在其研磨面上具有槽；研磨面和上述槽的与研磨面连续的侧面所成的角度的至少一方为105度以上、150度以下，上述垫层的应变常数为7.3×10－6μm/Pa以上、4.4×10－4μm/Pa以下；通过使用这样的研磨垫，能够解决在保持较高的研磨速率的同时抑制研磨速率的变动的课题。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：竹内奈奈，福田诚司，奥田良治，笠井重孝，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：
国别省市：
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