用于形成超声换能器的方法及相关装置制造方法及图纸

一种用于形成压电超声换能器装置的方法，该装置所具有被沉积在主基板上设置的介电层上的第一电极。压电材料被沉积在第一电极和第二电极之间以形成换能器器件。至少压电材料被图案化，使得第一电极的部分从其横向地向外延伸。主基板和介电层被蚀刻以形成第一通孔，该第一通孔延伸到第一电极的横向朝外的部分，并且第一导电材料被沉积以基本上填满该第一通孔并且与第一电极的横向朝外的部分形成导电接合。主基板被蚀刻以限定延伸穿过其中的第二通孔，其中，该第二通孔与该第一通孔横向地间隔开。也提供了相关的方法与装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·道施，S·H·古德温，
申请(专利权)人：三角形研究学会，
类型：
国别省市：