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用于60吉赫兹片上天线的井字形人工磁导体及实现方法技术

技术编号:9239123 阅读:198 留言:0更新日期:2013-10-10 03:06
一种用于60吉赫兹片上天线的井字形人工磁导体。可用于毫米波集成电路、波导传输和片上天线等。利用CMOS集成电路工艺制作,由硅衬底、氧化硅缓冲层、金属层、氧化硅绝缘层和上面的功能电路层组成,金属层制成分布式井字形结构。应用于毫米波集成电路设计,特别是一种集成片上天线,实现将天线与硅衬底有效隔离,阻挡天线入射电磁波进入硅衬底。本发明专利技术提出的用于60吉赫兹片上天线的井字形人工磁导体作为毫米波片上辐射天线与硅衬底之间的隔离层,结构简单,兼容CMOS工艺,应用于60吉赫兹集成片上天线,能够降低硅衬底对天线入射电磁波信号的损耗。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于60吉赫兹片上天线的井字形人工磁导体,其特征在于该人工磁导体包括:硅衬底、氧化硅缓冲层、金属层、氧化硅绝缘层和功能电路层,从下到上依次堆叠制作;硅衬底位于下面,其上面覆盖一层氧化硅缓冲层,在氧化硅缓冲层上面蒸镀一层金属层,制成分布式井字形结构,在金属层上面覆盖一层氧化硅绝缘层,氧化硅绝缘层的上面为功能电路层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:耿卫东宋芃霖
申请(专利权)人:南开大学
类型:发明
国别省市:

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