【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于60吉赫兹片上天线的井字形人工磁导体,其特征在于该人工磁导体包括:硅衬底、氧化硅缓冲层、金属层、氧化硅绝缘层和功能电路层,从下到上依次堆叠制作;硅衬底位于下面,其上面覆盖一层氧化硅缓冲层,在氧化硅缓冲层上面蒸镀一层金属层,制成分布式井字形结构,在金属层上面覆盖一层氧化硅绝缘层,氧化硅绝缘层的上面为功能电路层。
【技术特征摘要】
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