【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电驱动对称柱塞式气体微小流量标准装置,其特征在于:右支架(2)、传动端板(5)、传动支架(9)、缓冲罐(12)、被检流量计(13)、流量控制器(14)、压力变送器(16)和电机支架(25)分别固定在基板(29)上;右气缸(3)固定在右支架(2)和传动端板(5)之间,右支架(2)开有进气口(1)与右气缸(3)连通;左气缸(10)固定在传动支架(9)和缓冲罐(12)之间,缓冲罐(12)与左气缸(10)出气口连通;柱塞(6)与左气缸(10)和右气缸(3)水平同轴安装,并分别通过两道O型圈(4)动密封,左气缸(10)的两道O型圈靠近传动支架(9),右气缸(2)的两道O型圈靠近传动端板(5);右气缸(3)出气口经双向流量指示器(30)与左气缸(10)进气口连通,其中右气缸(3)出气口靠近其O型圈右侧,左气缸(10)进气口靠近其O型圈左侧;传动端板(5)和传动支架(9)之间安装有滚珠丝杠(20),滚珠丝杠(20)位于柱塞(6)的正下方;柱塞(6)轴向中部开有凹槽,T型连接块(8)上部开有通孔,并且T型连接块(8)顶端开有与通孔连通的平面凹槽,柱塞(6)穿过T型连接块(8)上部的通孔,锁紧块(7 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王文林,程佳,常向月,黄震威,陈慧云,沈文新,
申请(专利权)人:浙江省计量科学研究院,
类型:发明
国别省市:
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