【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光掩模清洗机，所述光掩模清洗机包括去离子水喷射单元、气体干燥单元、旋转马达，其特征在于，所述光掩模清洗机还包括与离子水喷射单元、气体干燥单元和旋转马达相连的中央控制器和执行控制模块。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄峰，辛海峰，
申请(专利权)人：无锡华润微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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