开关管及显示面板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种开关管及显示面板。开关管包括：栅极电极；覆盖栅极电极的栅极绝缘层；形成于栅极绝缘层上的氧化物半导体层；形成于氧化物半导体层上的第一保护层；与氧化物半导体层电连接的源/漏极电极；以及覆盖源/漏极电极的第二保护层；其中，所述第一保护层的单位体积氢原子含量小于所述栅极绝缘层的单位体积氢原子含量。并且所述栅极绝缘层的单位体积氢原子含量小于所述第二保护层的单位体积氢原子含量。通过上述方式，本实用新型专利技术能够抑制开关管内半导体层的氧原子与外部氢原子结合，提高器件性能和稳定性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种开关管，其特征在于，包括：栅极电极；覆盖所述栅极电极的栅极绝缘层；形成于所述栅极绝缘层上的氧化物半导体层；形成于所述氧化物半导体层上的第一保护层；与所述氧化物半导体层电连接的源/漏极电极；以及覆盖所述源/漏极电极的第二保护层；其中，所述第一保护层的单位体积氢原子含量小于所述栅极绝缘层的单位体积氢原子含量，所述栅极绝缘层的单位体积氢原子含量小于所述第二保护层的单位体积氢原子含量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：江政隆，陈柏林，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：