【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种槽式湿法装置，包括溶液槽、第一挡板和装载有多张硅片的晶圆装载设备，所述溶液槽包括至少一个反应槽，每个所述反应槽均包括一个纯水槽和一个药液槽，且所述溶液槽的两侧壁上均设置有所述第一挡板，每张所述硅片均与该第一档板垂直，其特征在于，相邻的两张硅片之间的间隙投影至所述第一挡板上的位置处均设置有传感设备。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王春伟，李阳柏，张传民，张旭升，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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