【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种紫外激光加工装置，包括紫外激光器、振镜系统、聚焦透镜，其特征在于：在紫外激光器和振镜X之间的光路上还设有分光片，在分光片的上方还设有同轴视觉系统，同轴视觉系统里的同轴光源设在加工工件的一侧；?紫外激光器发出的紫外激光束水平入射到分光片上，经过分光片的透射、再经过振镜系统的全反射、最后经过聚焦透镜的折射将紫外激光束汇聚到加工工件上；?同轴光源发出的光投射到加工工件上，加工工件的反射光依次经过聚焦透镜的折射、振镜系统的全反射后变成平行光再入射到分光片上，再经过分光片的全反射后被同轴视觉系统捕捉成像，同轴视觉系统将成像数据发送到工业控制计算机，工业控制计算机根据该成像数据调整振镜系统中的振镜X和振镜Y的偏向角度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵盛宇，张松岭，郭卫军，曾林波，钟辉，
申请(专利权)人：深圳市海目星激光科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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