磁盘基板的制造方法技术

本发明专利技术提供能够减少氧化铝扎入的磁盘基板的制造方法。一种磁盘基板的制造方法，其具有下述(1)～(4)的工序：(1)使用含有氧化铝粒子及水的研磨液组合物A对被研磨基板的研磨对象面进行研磨的工序；(2)使用含有平均一次粒径(D50)为5～60nm、一次粒径的标准偏差不足40nm的二氧化硅粒子及水的研磨液组合物B，对工序(1)中获得的基板的研磨对象面进行研磨的工序；(3)对工序(2)中获得的基板进行清洗的工序；(4)使用含有二氧化硅粒子及水的研磨液组合物C对工序(3)中获得的基板的研磨对象面进行研磨的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：浜口刚吏，
申请(专利权)人：花王株式会社，
类型：
国别省市：