具有冷却剂气体孔洞的紫外线反射器及方法技术

一种用于紫外线灯的反射器，该紫外线灯可在基材处理设备中使用。该反射器包含在该紫外线灯长度上延伸的纵向带。该纵向带具有一弯曲反射表面并且包含多个通孔以将冷却剂气体导向该紫外线灯。在此亦描述使用具有反射器的紫外线灯模块的腔室以及紫外线处理的方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种紫外线灯反射器组件，包括：(a)中央反射器，所述中央反射器包括纵向带，所述纵向带具有弯曲反射表面以及多个通孔；(b)第一及第二侧反射器，位于所述中央反射器的各侧上：以及(c)次要反射器，位于所述中央反射器下方，所述次要反射器包括上层及下层区段，每一区段包括(i)具有端部的相对纵向表面，以及(ii)在所述纵向表面的所述端部之间延伸的相对横切表面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：YH·杨，T·A·恩古耶，S·巴录佳，A·卡祖巴，J·C·罗查，T·诺瓦克，D·W·何，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：