电磁力密封窗制造技术

技术编号:9213744 阅读:175 留言:0更新日期:2013-09-27 01:05
本实用新型专利技术公开了一种电磁力密封窗,与一个腔体相连,所述电磁力密封窗由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构成,所述腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)依次连接而构成一个筒体,所述电磁密封段(202)用于通过电磁力来控制其本身的隔断与连通。本实用新型专利技术在拆换出光窗片时可以腔体内工作气体不会泄漏,同时保证不会有空气进入腔体内,从而提高工作效率,节约气体成本。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电磁力密封窗,与一个腔体相连,其特征在于,所述电磁力密封窗由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构成,所述腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)依次连接而构成一个筒体,所述电磁密封段(202)用于通过电磁力来控制其本身的隔断与连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘斌丁金滨王魁波沙鹏飞周翊王宇赵江山
申请(专利权)人:中国科学院光电研究院
类型:实用新型
国别省市:

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