【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种发光二极管,包括三族氮化物外延层(101,102,103,104)、复合透明导电层(105,106)、透明钝化层(107)以及金属电极(108,109),其中:所述复合透明导电层位于所述三族氮化物外延层与所述透明钝化层之间;所述复合透明导电层由高价金属原子掺杂的氧化钛层(TiO2:Mx+)(105)与氧化铟锡层(ITO,In2O3:Sn)(106)组成;以及所述掺杂氧化钛层(105)形成于所述三族氮化物外延层上,所述氧化铟锡层(106)覆盖在所述掺杂氧化钛层(105)上并与所述掺杂氧化钛层形成凸凹镶嵌的复合多层结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘洪刚,郭浩,
申请(专利权)人:江苏晶瑞半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:
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