具有复合透明导电层的发光二极管及其制备方法技术

技术编号:9199487 阅读:152 留言:0更新日期:2013-09-26 03:26
本发明专利技术公开了一种具有复合透明导电层的发光二极管及其制备方法,该发光二极管包括三族氮化物外延层、复合透明导电层、透明钝化层以及金属电极。复合透明导电层位于三族氮化物外延层与透明钝化层之间,并且由高价金属原子掺杂的氧化钛层与氧化铟锡层组成,所述掺杂氧化钛层形成于三族氮化物外延层上,氧化铟锡层覆盖在掺杂氧化钛层上并与掺杂氧化钛层形成凸凹镶嵌的复合多层结构。本发明专利技术公开的具有复合透明导电层的发光二极管能有效消除三族氮化物与透明导电层界面处的全反射,大幅度提高发光器件的光提取效率,并且具有工艺简单、低成本等优势,在超高亮度发光二极管制造领域应用前景广阔。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种发光二极管,包括三族氮化物外延层(101,102,103,104)、复合透明导电层(105,106)、透明钝化层(107)以及金属电极(108,109),其中:所述复合透明导电层位于所述三族氮化物外延层与所述透明钝化层之间;所述复合透明导电层由高价金属原子掺杂的氧化钛层(TiO2:Mx+)(105)与氧化铟锡层(ITO,In2O3:Sn)(106)组成;以及所述掺杂氧化钛层(105)形成于所述三族氮化物外延层上,所述氧化铟锡层(106)覆盖在所述掺杂氧化钛层(105)上并与所述掺杂氧化钛层形成凸凹镶嵌的复合多层结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘洪刚郭浩
申请(专利权)人:江苏晶瑞半导体有限公司
类型:发明
国别省市:

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