一种以石墨烯作为势垒层的MTJ磁场传感器制造技术

技术编号:9197370 阅读:279 留言:0更新日期:2013-09-26 01:39
本发明专利技术公开了一种以石墨烯作为势垒层的MTJ磁场传感器,包括两个磁力线聚集器、用来构成惠斯通测量电桥的四个MTJ磁敏感元件、四个电极及基底,两个磁力线聚集器呈对称状布置,两个所述MTJ磁敏感元件位于两个磁力线聚集器之间的间隙处,另外两个所述MTJ磁敏感元件分别位于两个磁力线聚集器的底部,每个所述MTJ磁敏感元件均包括由下至上依次堆叠排列的基底、底电极层、第一缓冲层、自由铁磁层、石墨烯势垒层、被钉扎铁磁层、钉扎层、第二缓冲层及顶电极层。本发明专利技术具有结构简单紧凑、体积小、成本低廉、制作方便、具有高分辨力等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种以石墨烯作为势垒层的MTJ磁场传感器,其特征在于,包括两个磁力线聚集器、用来构成惠斯通测量电桥的四个MTJ磁敏感元件、四个电极及基底,两个磁力线聚集器呈对称状布置,两个所述MTJ磁敏感元件位于两个磁力线聚集器之间的间隙处,另外两个所述MTJ磁敏感元件分别位于两个磁力线聚集器的底部,每个所述MTJ磁敏感元件均包括由下至上依次堆叠排列的基底、底电极层、第一缓冲层、自由铁磁层、石墨烯势垒层、被钉扎铁磁层、钉扎层、第二缓冲层及顶电极层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:潘孟春田武刚胡靖华胡佳飞赵建强
申请(专利权)人:中国人民解放军国防科学技术大学
类型:发明
国别省市:

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