一种判别多晶硅薄膜无序度的方法技术

本发明专利技术涉及多晶硅薄膜，特指一种判别多晶硅薄膜无序度的方法，用激光拉曼普仪测试多晶硅薄膜的拉曼光谱，获得多晶硅薄膜拉曼散射峰的频移值和半高宽，计算多晶硅薄膜的无序度。本发明专利技术对薄膜没有任何损坏，属于半导体薄膜材料领域。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种判别多晶硅薄膜无序度的方法，其特征是：利用拉曼光谱对多晶硅薄膜进行表征，获得多晶硅薄膜拉曼散射峰的频移值和半高宽，计算出多晶硅薄膜的无序度，即????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????式中C即为无序度，=520?cm?1为理想多晶硅薄膜拉曼散射峰的峰位，为实验获得的多晶硅薄膜拉曼散射峰的峰位，为拉曼散射峰的半高宽，利用上述公式，能够计算出所制备多晶硅薄膜的无序度。9106dest_path_image002.jpg,2013102052928100001dest_path_image004.jpg,2013102052928100001dest_path_image006.jpg,2013102052928100001dest_path_image008.jpg

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王权，邵盈，张艳敏，毛伟，胡然，刘小颖，闫超，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：