本发明专利技术涉及切割控制技术领域，特别是一种多线切割载荷控制方法。特点是它借助传感器测量工件所受来自切割钢线的载荷压力，在切割全过程或部分过程中使用以载荷压力为参数来调整切割进给速度、钢线速度的方式，载荷压力的值可以预先设定，或者在切割过程中按照一定的方式变化。这种切割方式可以较好的控制翘曲度和锯纹的产生，同时对其它切割要素的要求降低，在一定范围内均可以保证切割结果在可控制的范围内波动，有较好的重复性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及切割控制
，特别是一种。
技术介绍
目前广泛使用在电子行业的多线切割机(其工作原理是使用极细的钢丝，反复缠绕在2到4个滚筒上，形成数百道钢丝，然后钢线运动，辅以切割油粉，被加工工件靠近钢线，进行切割，一般有石英、硅材料、砷化镓等半导体材料以及各种光学晶体玻璃)。主要的切割参数1、工件进给速度也就是工作台速度；2、钢线的运动线速度；目前所使用的切割控制方式一般为匀速切割，也就是设定的切割钢线和工件的相对接近的进给速度是恒定的，或者是根据工件的形状进行速度的变化，这两种切割控制模式切割时容易在切割产品的切割面上产生凹凸不平的锯纹，给后道加工工序带来很大的困难，在加工过程中容易导致被切割工件的破损；同时切割后容易产生较大的翘曲度warp，尤其是对较薄的半导体晶片，而且这类晶片对翘曲度的要求也比较高，如果切割产生的翘曲度偏离要求比较大，超出后道工序的修复范围就会导致产品报废。另外采用这两种切割控制方式要达到较好的切割效果对切割过程中的各个要素要求很严，由于很多因素难以控制和预料，切割的重复性较差。
技术实现思路
本专利技术是一种新的多线切割控制方式，特点是它借助传感器测量工件所受来自切割钢线的载荷压力(在匀速切割方式中，它是不断变化的)，在切割全过程或部分过程中使用以载荷压力为参数来调整切割进给速度、钢线速度的方式，载荷压力的值可以预先设定，或者在切割过程中按照一定的方式变化。这种切割方式可以较好的控制翘曲度和锯纹的产生，同时对其它切割要素的要求降低，在一定范围内均可以保证切割结果在可控制的范围内波动，有较好的重复性。一种多线切割的控制方法，在整个切割过程或切割部分过程中使用以工件所承受的载荷压力为主要参数，调节切割进给速度和钢线运动速度。所述的多线切割的控制方法，载荷压力可以为预先设定的固定变化模式，也可以根据测量中的载荷压力按照一定的函数计算后自动地设定按照一定的方式变化，控制的方式为同时调整切割进给速度和钢线速度来满足预先设定的载荷压力要求，也可以单独调整某一个参数来满足预先设定的载荷压力要求。附图说明图1是本专利技术的多线切割载荷控制系统方框图。图2是本专利技术的流程图。具体实施例方式图1的多线切割载荷控制系统中，切割参数控制系统检测到的载荷压力值同设定的载荷压力或计算后得出的载荷压力值进行比较，根据偏差发出指令调节切割参数，之后传送到切割系统，再由切割系统传送到载荷压力传感器检测切割中的载荷压力参数，之后传送到切割参数控制系统。图2的流程图，其步骤如下步骤S1采用载荷控制方法进行切割控制时，传感器检测切割载荷压力的载荷数值并发送给切割控制系统；步骤S2切割控制系统将接收的载荷压力数值与设定的值或者按照某种函数运算后的结果进行比较，并给出对比结果，如果对比结果满足某种要求时则继续执行目前的切割参数，如果对比结果不满足某种要求时则发出指令，同时调整切割进给速度和钢线速度或者单独调整某一个参数来满足对对比结果的要求；步骤S3切割系统执行切割控制系统指令，切割参数的变化将引起新的载荷压力改变，过程返回到步骤S1。权利要求1.一种多线切割的控制方法，其特征在于，在整个切割过程或切割部分过程中使用以工件所承受的载荷压力为主要参数，调节切割进给速度和钢线运动速度。2.根据权利要求1的多线切割的控制方法，其特征在于，载荷压力可以为预先设定的固定变化模式，也可以根据测量中的载荷压力按照一定的函数计算后自动地设定按照一定的方式变化，控制的方式为同时调整切割进给速度和钢线速度来满足预先设定的载荷压力要求，也可以单独调整某一个参数来满足预先设定的载荷压力要求。3.根据权利要求1的多线切割的控制方法，其特征在于，其步骤如下步骤S1采用载荷控制方法进行切割控制时，传感器检测切割载荷压力的载荷数值并发送给切割控制系统；步骤S2切割控制系统将接收的载荷压力数值与设定的值或者按照某种函数运算后的结果进行比较，并给出对比结果，如果对比结果满足某种要求时则继续执行目前的切割参数，如果对比结果不满足某种要求时则发出指令，同时调整切割进给速度和钢线速度或者单独调整某一个参数来满足对对比结果的要求；步骤S3切割系统执行切割控制系统指令，切割参数的变化将引起新的载荷压力改变，过程返回到步骤S1。全文摘要本专利技术涉及切割控制
，特别是一种。特点是它借助传感器测量工件所受来自切割钢线的载荷压力，在切割全过程或部分过程中使用以载荷压力为参数来调整切割进给速度、钢线速度的方式，载荷压力的值可以预先设定，或者在切割过程中按照一定的方式变化。这种切割方式可以较好的控制翘曲度和锯纹的产生，同时对其它切割要素的要求降低，在一定范围内均可以保证切割结果在可控制的范围内波动，有较好的重复性。文档编号B26D1/01GK1883890SQ20051007861公开日2006年12月27日 申请日期2005年6月20日 优先权日2005年6月20日专利技术者朱蓉辉, 惠峰, 卜俊鹏, 郑红军 申请人:中国科学院半导体研究所本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种多线切割的控制方法，其特征在于，在整个切割过程或切割部分过程中使用以工件所承受的载荷压力为主要参数，调节切割进给速度和钢线运动速度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱蓉辉，惠峰，卜俊鹏，郑红军，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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