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一种分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备制造技术

技术编号:9181803 阅读:170 留言:0更新日期:2013-09-20 04:02
一种分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备,包括模块化单台分离机,分离液罐体,压滤机,二次回收液罐,除水设备;其中:模块化单台分离机的出液口通过管道与分离液罐体的进口连接,分离液罐体的出口通过管道与压滤机的进口连接,压滤机的出口通过管道与二次回收液罐连接,二次回收液罐通过管路与除水设备连接。所述的压滤机内部带有膜过滤装置。本实用新型专利技术的优点:用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆,同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。分离效果好,小颗粒杂质去除率达95%以上,回收效率高,回收液的回收率达90%以上,解决了回收砂浆中水含量高的问题。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备,其特征在于:所述的分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备,包括模块化单台分离机(1),分离液罐体(2),压滤机(3),二次回收液罐(4),除水设备(5);其中:模块化单台分离机(1)的出液口通过管道与分离液罐体(2)的进口连接,分离液罐体(2)的出口通过管道与压滤机(3)的进口连接,压滤机(3)的出口通过管道与二次回收液罐(4)连接,二次回收液罐(4)通过管路与除水设备(5)连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张磊刘铁英
申请(专利权)人:张磊刘铁英
类型:实用新型
国别省市:

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