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单片集成多个声表面波滤波器间声电耦合的隔离方法技术

技术编号:9173293 阅读:131 留言:0更新日期:2013-09-19 22:45
本发明专利技术提供一种单片集成多个声表面波滤波器间声电耦合的隔离方法,在同一压电单晶基片上集成制作多个平行排布的声表面波滤波器,各声表面波滤波器输入信号电极和输出信号电极均独立设置并由各声表面波滤波器的地电极隔开,各声表面波滤波器地电极并联接地,在压电单晶基片表面各声表面波滤波器之间制作声电隔离结构。声电隔离结构为制作在压电单晶基片表面各个声表面波滤波器之间的纵向沟槽,其上覆盖金属膜并与声表面波滤波器地电极相连;所述声电隔离结构或者为制作在压电单晶基片表面各个声表面波滤波器之间的重质金属膜电极,并与声表面波滤波器地电极相连。采用本发明专利技术的单片集成多个声表面波滤波器间声电耦合隔离度高,结构简单,制作方便。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种单片集成多个声表面波滤波器间声电耦合的隔离方法,其特征在于:在同一压电单晶基片上集成制作多个平行排布的声表面波滤波器,各声表面波滤波器输入信号电极和输出信号电极均独立设置并由各声表面波滤波器的地电极隔开,各声表面波滤波器地电极并联接地,在压电单晶基片表面各声表面波滤波器之间制作声电隔离结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈磊赵成石竹南胡经国
申请(专利权)人:扬州大学
类型:发明
国别省市:

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