【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于ZnO薄膜钝化半导体激光器腔面的方法,该方法包括在磁控溅射系统内采用氩、氢混合等离子体分别对激光器前后腔面进行清洗,清洗后原位溅射ZnO钝化薄层,最后按常规工艺镀制前腔面增透膜和后腔面高反膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:薄报学,周路,王云华,许留洋,高欣,乔忠良,
申请(专利权)人:长春理工大学,
类型:发明
国别省市:
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