一种晶体硅太阳电池生产工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种太阳电池生产工艺，更具体的讲是一种晶体硅太阳电池生产工艺，其包括如下步骤：制绒、扩散、去除磷硅玻璃、PECVD沉积氮化硅、硅片酸溶液清洗、烘干、丝网印刷、烧结和分检，本发明专利技术的有益效果是：使用酸处理有氮化硅的硅片不但可以进一步去除背面的氧化层，有利于背表面对长波太阳光的反射；而且可以在硅片的前表面——氮化硅表面形成细小的粗糙表面，有利于太阳光在电池正表面对短波的吸收。这样可以增加太阳电池在整个太阳光波段的吸收，达到提高短路电流的效果，而且本发明专利技术酸处理设备成熟、成本低廉，操作简单。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶体硅太阳电池生产工艺，包括如下步骤：制绒、扩散、去除磷硅玻璃、PECVD沉积氮化硅、硅片酸溶液清洗、烘干、丝网印刷、烧结和分检。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：贾河顺，姜言森，任现坤，徐振华，张春艳，马继磊，
申请(专利权)人：山东力诺太阳能电力股份有限公司，
类型：发明
国别省市：