楔形透镜的检测装置和检测方法制造方法及图纸

技术编号:9169361 阅读:306 留言:0更新日期:2013-09-19 17:48
一种楔形透镜的检测装置和检测方法,该楔形透镜检测装置构成包括4D动态干涉仪、补偿镜组、平台、标准反射镜、高精度转台调整架、立方棱镜、自准直平行光管,本发明专利技术利用机械与光学相结合的方法来测量,它能够实现高精度测量,并分别得出楔形透镜的楔角差和塔差的值。本发明专利技术可广泛应用于楔形透镜的加工和检测,特别是针对高精度的楔形透镜,此方法能够满足各种外形、大小的楔形透镜的检测。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种楔形透镜的检测装置,特征在于其构成包括4D动态干涉仪(1)、补偿镜组(2)、平台、标准反射镜(4)、高精度转台调整架(5)、立方棱镜(6)、自准直平行光管(7),上述元件的位置关系如下:将待测的楔形透镜(3)置于平台上,依次设置的4D动态干涉仪(1)、补偿镜组(2)、待测的楔形透镜(3)和标准反射镜(4)组成同光轴的波前检测光路,高精度转台调整架(5)与立方棱镜(6)放置在待测的楔形透镜(3)和标准反射镜(4)之间,所述的立方棱镜(6)放置在所述的高精度转台调整架(5)上,立方棱镜(6)的四个侧面平行于所述的高精度转台调整架(5)的转轴,所述的高精度转台调整架(5)的转轴垂直于检测光路的光轴,所述的自准直平行光管(7)的光轴同时垂直于检测光路的光轴和所述的高精度转台调整架(5)的转轴。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:邵平居玲洁沈卫星赵东峰王利周洋
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:

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