【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种以氮氧化钛为应变材料的薄膜压力传感器，其特征在于，它包括一不锈钢弹性基底，所述不锈钢弹性基底上设置有芯体薄膜层，所述芯体薄膜层包括绝缘层、应变电阻层、电极及测温电阻层和钝化层，所述绝缘层、应变电阻层、电极及测温电阻层和钝化层依次通过真空沉积的方法沉积在所述不锈钢弹性基底上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：纪乐春，贾新彪，石旺舟，
申请(专利权)人：上海天沐自动化仪表有限公司，
类型：发明
国别省市：
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