含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用技术

本发明专利技术涉及一系列基于双酚A为主体结构的分子玻璃光刻胶（I和II）及其制备。将该分子玻璃光刻胶与光酸产生剂、交联剂、光刻胶溶剂和其他添加剂复配成正性或负性光刻胶，在硅片上通过旋涂法可制得厚度均匀的光刻胶涂层。该光刻胶配方可用于248nm光刻、193nm光刻、极紫外光刻、纳米压印光刻及电子束光刻等现代光刻技术中，尤其适合使用于极紫外（EUV）光刻工艺中。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
通式（I）或（II）的化合物，其中X独立的选自H、C1?8烷基、?COOC1?8烷基、R独立的选自H、?OH、?OC1?8烷基、?OCOOC1?8烷基、FDA00001654910700011.jpg,FDA00001654910700012.jpg,FDA00001654910700013.jpg

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：杨国强，许箭，陈力，王双青，李沙瑜，
申请(专利权)人：中国科学院化学研究所，
类型：发明
国别省市：