一种抑制光学表面全频段误差的抛光磨盘制造技术

技术编号:9163684 阅读:168 留言:0更新日期:2013-09-19 13:04
本发明专利技术为一种抑制光学表面全频段误差的抛光磨盘,具有一转轴连接端位于基底的外上部中心位置;一基底具有环状凸台位于侧壁的外侧,环状凸台上具有一组固接螺孔,一组固接螺孔中心对称于转轴连接端;一法兰环,为圆环柱体,且具有一组固接螺孔;一隔膜密封膜片,为上端开口的桶形结构;一磁流变橡皮泥置于由隔膜密封膜片的内壁、上表面和基底的底部形成的一密封空腔中,隔膜密封膜片的凸台通过法兰环和螺栓与基底的环形凸台固定连接;一抛光垫,与隔膜密封膜片的下表面固定连接;一磁场发生器,置于磨盘外基底的外上部的上表面,控制密封空腔中的磁场分布,磁场发生器产生平行于转轴方向的磁场,调节控制磁流变橡皮泥的储能模量和损耗模量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种抑制光学表面全频段误差的抛光磨盘,其特征在于包括:一转轴连接端,位于基底的外上部中心位置,用于连接机床转轴,获得驱动力带动整个抛光磨盘旋转;一基底,具有一外上部、外下部、侧壁、固接螺孔和环状凸台;环状凸台位于侧壁的外侧,环状凸台上具有一组固接螺孔,一组固接螺孔中心对称于转轴连接端;一法兰环,为圆环柱体,且具有一组固接螺孔;一隔膜密封膜片,为上端开口的桶形结构,具有内壁、下表面、上表面、边缘设有凸台;一磁流变橡皮泥置于由隔膜密封膜片的内壁、上表面和基底的底部形成的一密封空腔中,隔膜密封膜片的凸台通过法兰环和螺栓与基底的环形凸台固定连接;一抛光垫,与隔膜密封膜片的下表面固定连接;一磁场发生器,置于磨盘基底的外上部的上表面,控制密封空腔中的磁场分布,磁场发生器产生平行于转轴方向的磁场,调节控制磁流变橡皮泥的储能模量和损耗模量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王佳范斌万勇建施春燕孟凯
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
类型:发明
国别省市:

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