一种多晶硅纯度优化设备制造技术

技术编号:9152773 阅读:156 留言:0更新日期:2013-09-12 18:56
一种多晶硅纯度优化设备,包括加热炉体、坩埚、加热板、冷却装置、铸型升降装置,所述加热炉体为一罩壳结构,该加热炉体顶部设置有顶盖,该加热炉体一侧连接有真空泵,另一侧连接有阀体;所述坩埚设置在所述加热炉体内,所述冷却装置设置在该坩埚底部,设置在加热炉体底部的隔热板与所述冷却装置、加热炉体共同构成封闭腔体;所述坩埚外壁上设置加热板;所述冷却装置设置有热开关,该热开关与所述坩埚的底部连接,该冷却装置的底部分别设置有冷却水进口和冷却水出口;冷却装置周边设置有保温壁,该保温壁与所述隔热板连接;所述铸型升降装置设置在冷却装置的下部。该设备成本低、技术成熟度高、环境污染小。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多晶硅纯度优化设备,包括加热炉体、坩埚、加热板、冷却装置、铸型升降装置,其特征在于:所述加热炉体为一罩壳结构,该加热炉体顶部设置有顶盖,该加热炉体一侧连接有真空泵,另一侧连接有阀体;所述坩埚设置在所述加热炉体内,所述冷却装置设置在该坩埚底部,设置在加热炉体底部的隔热板与所述冷却装置、加热炉体共同构成封闭腔体;所述坩埚外壁上设置加热板;所述冷却装置设置有热开关,该热开关与所述坩埚的底部连接,该冷却装置的底部分别设置有冷却水进口和冷却水出口;冷却装置周边设置有保温壁,该保温壁与所述隔热板连接;所述铸型升降装置设置在冷却装置的下部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周胜平王凤咏张胜涛李瑞民芦方全王林
申请(专利权)人:中石化工建设有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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