【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制造有机电致发光装置的设备,所述设备包括:第一基板处理单元,所述第一基板处理单元用于使用第一托架作为掩模在连接到所述第一托架的基板上沉积有机材料;第一托架处理单元,所述第一托架处理单元布置在与所述第一基板处理单元不同的行上,所述第一托架处理单元清洁并且检验从沉积有有机材料的所述基板分离的所述第一托架;第二基板处理单元,所述第二基板处理单元与所述第一基板处理单元布置在一行上,所述第二基板处理单元使用第二托架作为掩模在连接到所述第二托架的沉积有有机材料的所述基板上沉积金属材料;第二托架处理单元,所述第二托架处理单元布置在与所述第二基板处理单元不同的行上,所述第二托架处理单元清洁并且检验从沉积有金属材料的所述基板分离的所述第二托架;以及密封单元,所述密封单元与所述第二基板处理单元布置在一行上,所述密封单元密封沉积有所述金属材料的基板,其中,所述第一基板处理单元和所述第二基板处理单元均包括:移动控制单元,所述移动控制单元用于在第一托架和第二托架连接到所述基板时,初次地移动所述第一托架和第二托架使得所述第一托架和第二托架与所述基板对齐,并且用于二次移动各个第一托架和第二托架以及所述基板,使得 ...
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。