【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种恒温液循环装置，用于输送恒温液给外部装置(9)，其包含制冷装置单元(11)、循环液回路单元(12)以及控制装置(10)，其特征在于，所述制冷装置单元(11)包括电动三通阀(3)、膨胀装置(2)以及分别与电动三通阀相连接的蒸发装置(4)、冷凝装置(1)以及压缩机(5)，所述压缩机(5)的进口端与蒸发装置(4)的一个出口端相连接，压缩机(5)的出口端与电动三通阀(3)相连接，所述冷凝装置(1)的出口端与膨胀装置(2)相连接，其中所述的蒸发装置(4)有三个进口端，三个出口端，三个进口端分别连接电动三通阀(3)、膨胀装置(2)、外部装置(9)，三个出口端分别连接冷凝装置(1)、压缩机(5)以及循环液回路单元(12)；所述循环液回路单元(12)包括温度传感器(8)、变频装置(7)以及泵(6)，所述蒸发装置(4)的一个出口端与所述泵(6)的进口端连接，所述温度传感器(8)安装于所述泵(6)和外部装置(9)之间，用于采集循环液的温度，所述变频装置(7)安装于所述泵(6)和控制装置(10)之间；所述控制装置(10)分别连接所述膨胀装置(2)、压缩机(5)及变频装置(7)，通过对变频装置(7)进行频...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李天水，王飞，卜荣翔，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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