传感器元件、传感器器件以及电子设备制造技术

本发明专利技术提供传感器元件、传感器器件以及电子设备，具有优异的检测灵敏度。传感器元件(2)具有：基部(21)；从基部(21)延伸的检测用振动臂(23、24)；以及在检测用振动臂(23、24)上设置的检测部(41～44)，检测部(41～44)分别具有下部电极层、上部电极层以及压电体层，检测部(41、42)的下部电极之间，以及检测部(43、44)的下部电极之间彼此电连接。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种传感器元件，其特征在于，该传感器元件具有：基部；从所述基部延伸的检测用振动臂；以及第1检测部和第2检测部，它们设置在所述检测用振动臂上，伴随于所述检测用振动臂的振动而输出电荷，所述第1检测部具有第1下部电极层、第1上部电极层、以及设置在所述第1下部电极层与所述第1上部电极层之间的第1压电体层，所述第1下部电极层设置在所述检测用振动臂侧，所述第2检测部具有第2下部电极层、第2上部电极层、以及设置在所述第2下部电极层与所述第2上部电极层之间的第2压电体层，所述第2下部电极层设置在所述检测用振动臂侧，所述第1下部电极层与所述第2下部电极层电连接，或者，所述第1上部电极层与所述第2上部电极层电连接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：市川史生，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：