磁悬浮隔振平台制造技术

磁悬浮隔振平台，涉及磁悬浮隔振平台技术领域。本发明专利技术克服了现有隔振平台存在的存在固有频率的缺点。本发明专利技术包括动基板、定基板、n个静态承重单元、i个Z向调整单元、j个X向调整单元和j个Y向调整单元，静态承重单元和X、Y、Z向调整单元沿X向或Y向轴线对称布置在动基板和定基板之间；每个X、Y或Z向调整单元对应设置有一个单元控制器和传感器，单元控制器输出控制信号给调整单元；静态承重单元的动子、X、Y、Z向调整单元的动子固定在动基板的底面，静态承重单元的定子、X、Y、Z向调整单元的定子固定在定基板的上面，动基板与定基板所在平面相互平行，二者之间为气隙。本发明专利技术刚度低、隔振精度高，可适用真空环境。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种磁悬浮隔振平台，其特征在于，它由动基板、定基板、n个静态承重单元、i个Z向调整单元、j个X向调整单元、j个Y向调整单元构成，n、i为大于等于3的自然数，j为大于等于2的自然数；静态承重单元、Z向调整单元、X向调整单元和Y向调整单元沿X向或Y向轴线对称布置在动基板和定基板之间；每个Z向调整单元对应设置有一个Z向单元控制器和一个Z向传感器，所述Z向单元控制器输出控制信号给Z向调整单元；每个X向调整单元对应设置有一个X向单元控制器和一个X向传感器，所述X向单元控制器输出控制信号给X向调整单元；每个Y向调整单元对应设置有一个Y向单元控制器和Y向传感器，所述Y向单元控制器输出控制信号给Y向调整单元；静态承重单元的动子、Z向调整单元的动子、X向调整单元的动子和Y向调整单元的动子固定在动基板的底面，静态承重单元的定子、Z向调整单元的定子、X向调整单元的定子和Y向调整单元的定子固定在定基板的上面，动基板与定基板所在平面相互平行，二者之间为气隙；Z向传感器安装在对于的Z向调整单元附近的定基板或动基板上，用于检测所述Z向调整单元的Z向位移、速度或加速度，并将检测的信号发送给对应的Z向单元控制器，X向传感器安装在对应的X向调整单元附近的定基板或动基板上，用于检测所述X向调整单元的X向位移、速度或加速度，并将检测的信号发送给对应的X向单元控制器；Y向传感器安装在对应的Y向调整单元附近的定基板或动基板上，用于检测Y向调整单元的Y向位移、速度或加速度，并将检测的信号发送给Y向单元控制器。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：寇宝泉，周一恒，张鲁，张赫，罗俊，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：