一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程中的冷却方法技术

本发明专利技术涉及一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程的冷却方法，泡生法包括准备原料、炉体抽真空、炉体加热、熔接晶体、晶颈生长、晶体生长、分离、退火、取晶等步骤，所述冷却方法应用于晶颈生长与退火，在晶种不同的直径与质量下用不同的速率降温；在退火时，在温度不同的条件下用不同的速率降温。在整个晶体生长过程中，晶体不被提出坩埚，仍处于热区，可以精确控制晶体的冷却速度，减小热应力；晶体生长过程中若存在晶体的移动和转动，容易受到机械振动影响，本发明专利技术在晶颈形成后停止与旋转提拉晶种杆，有效的避免了晶体受到机械振动的影响；降低成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程的冷却方法，泡生法包括准备原料、炉体抽真空、炉体加热、熔接晶体、晶颈生长、晶体生长、分离、退火、取晶，其特征在于，所述冷却方法应用于晶颈生长与退火，应用于晶颈生长的冷却方法为，晶种直径缩小至4?8mm时，以0.5?5℃/h的速度降温；当晶种上结晶的质量达到0.1?0.2kg时，以1?10℃/h的速率降温；当晶种上结晶的质量达到0.4?0.8kg时，以2?15℃/h的速率降温；当晶种上结晶的质量达到1.5?1.9kg时，以1?10℃/h的速率降温；应用于退火的冷却方法为，退火开始时，以180?220℃/h的速率降温，降温至1400℃；然后以30?40℃的速率降温，降温至1000℃；然后以80?120℃/h的速率降温，同时减小加热电压，直至加热电压为零；然后通入惰性气体，降温至40℃。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：范世炜，许友生，丁革建，曾锡强，
申请(专利权)人：浙江东海蓝玉光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：