【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种起爆序列用V型结构MEMS执行器，包括单晶硅衬底（1），其特征在于：单晶硅衬底（1）上制作有直径为150～180um的加速膛孔（5），二氧化硅绝缘层（2）在单晶硅衬底（1）上生长，生长厚度为2～3um，将单晶硅结构层（3）与生长了二氧化硅绝缘层（2）的单晶硅衬底（1）键合，单晶硅结构层（3）的厚度为50～100um，金属电极层（4）沉积在单晶硅结构层（3）的锚点（3?2）上；MEMS执行器在单晶硅结构层（3）中制作，MEMS执行器包括锚点（3?2），成阵列结构的V型梁热电驱动单元（3?3）的两端与锚点（3?2）连接，中间臂（3?4）位于V型梁热电驱动单元（3?3）的中间并相互固定，柔性梁（3?5）的两端分别与中间臂（3?4）和杠杆（3?1）的首端相连接，隔板（3?6）制作在杠杆（3?1）的末端，隔板（3?6）将加速膛孔（5）挡住；所述的MEMS执行器是除去与锚点（3?2）键合的部分，其余的二氧化硅绝缘层（2）将被腐蚀掉，使杠杆（3?1）、V型梁热电执行器（3?3）、中间臂（3?4）、柔性梁（3?5）以及隔板（3?6）悬空，形成最终的可动结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵玉龙，胡腾江，李波，白颖伟，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：
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