液体喷出头的制造方法技术

技术编号:9135596 阅读:132 留言:0更新日期:2013-09-11 23:01
一种液体喷出头的制造方法,包括如下顺序的如下工序:在顺次层叠有多个热能产生元件和绝缘层的基体的绝缘层上形成包含第一金属材料的第一金属层;在第一金属层上形成包含第二金属材料的第二金属层,然后使第二金属层图案化以形成多个保护部;使第一金属层图案化以形成用于电连接多个保护部的连接部;检查连接部与多个热能产生元件的导通;以及使连接部图案化,由此使多个保护部电隔离并且形成彼此电隔离的多个紧密接触部。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种液体喷出头的制造方法,该液体喷出头包括:多个热能产生元件,其产生喷出液体用的热能;绝缘层,其覆盖所述多个热能产生元件;多个紧密接触部,其以与所述多个热能产生元件以一对一的关系对应的方式设置于所述绝缘层;和多个保护部,其以一对一的关系设置于所述多个紧密接触部,该制造方法包括如下顺序的如下步骤:制备基体,在所述基体上顺次层叠所述多个热能产生元件和所述绝缘层;在所述基体的所述绝缘层上形成包含第一金属材料的第一金属层;在所述第一金属层上形成包含第二金属材料的第二金属层,然后使所述第二金属层图案化以形成包含所述第二金属材料的所述多个保护部;使所述第一金属层图案化以形成用于电连接所述多个保护部的连接部;检查所述连接部与所述多个热能产生元件的导通;以及使所述连接部图案化,由此使所述多个保护部彼此电隔离并且形成彼此电隔离且包含所述第一金属材料的所述多个紧密接触部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:石田让初井琢也安田建
申请(专利权)人:佳能株式会社
类型:发明
国别省市:

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