线切割机及线切割机用槽道装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种线切割机及线切割机用槽道装置，其能够防止加工液向周围飞溅，并且将加工液充分地向切割部分供给，从而提高切割性能。线切割机(20)具备：加工液供给装置(29)，其供给加工液S；汽缸(37)，其使工件W相对于行走中的切割线(26)相对移动；槽道部件(40)，其与加工液供给装置(29)连接，与工件W接近配置，具有切割线(26)通过的第二加工液供给空间S2，并且从切割线(26)的行走方向的上游侧向工件W被切割的部分供给加工液S，在第二加工液供给空间S2中的工件W附近产生静压。

【技术实现步骤摘要】
线切割机及线切割机用槽道装置
本专利技术涉及用于切割半导体材料等的线切割机及线切割机用槽道装置。
技术介绍
近年来，正在使用将由例如半导体材料、磁性材料、陶瓷等硬脆材料构成的工件通过行走的切割线切割的线切割机。例如，专利文献1公开了一种脆性材料的切割装置，该切割装置配置为：在通过将向行走中的切割线供给油剂中混合有游离磨粒的加工液，并使附着有加工液的切割线按压在工件上，来将半导体材料等被切割部件切割成希望的形状的线切割机中，为了提高线切割机的切割精度及切割效率，将在加工液供给喷嘴的正下方的立式加工液储存部和具有使加工液在水平方向流出的狭缝状流出孔的水平整流部连通的倒T字形的狭缝喷嘴配置在切割线要刚刚进入被切割部件之前。专利文献1：日本特开平5-212720号公报(平成5年8月24日公开)但是，在上述现有切割装置中，存在下列问题。上述公报公开的切割装置，仅仅只是意识到通过将倒T字形的狭缝喷嘴配置在切割线要刚刚进入被切割部件之前，使加工液直到切割线要进入被切割部件之前都能可靠地附着在切割线上，从而通过切割线将加工液引入切割部而构成的。因此，没有考虑附着在切割线上的加工液因与被切割部件的相对面的冲突而向周围飞溅，由于这样的加工液的飞溅及只是通过切割线的行走将加工液引入切割部的引入力不充分的理由，所以存在没有足够量的加工液进入切割部的问题。另外，在对比文献1中，没有假设使倒T字形的狭缝喷嘴内空间的压力上升。
技术实现思路
本专利技术的课题在于提供一种线切割机及线切割机用槽道装置，其能够防止加工液向周围飞溅，并且将加工液充分地向工件的切割槽供给，从而提高切割性能。第一专利技术的线切割机是一边向行走的切割线供给加工液，一边将工件按压在所述切割线上进行切割的线切割机，具备加工液供给部、移动机构。加工液供给部从切割线行走方向的上游侧对行走中的切割线供给加工液。移动机构使工件相对于行走中的切割线相对移动。加工液供给部具有加工液加压输送装置、槽道部件。加工液加压输送装置加压输送加工液。槽道部件以切割线通过其内部，并且其前端部接近工件而进行配置，将从连通的加工液加压输送装置加压输送来的加工液向切割线和工件的相对面的接触部供给。在此，在以向行走中的切割线供给加工液并且以附着加工液的状态使切割线和工件接触而切割工件的线切割机中，采用如下构造：通过利用加工液加压输送装置和槽道部件将加工液向切割线与工件的相对面接触并且被引入工件开始切割的切割开始点供给，来向切割开始点的周围施加压力。而且，附着在行走的切割线上的加工液与工件的相对面冲突时，由于在槽道部件内部被加压输送供给的加工液的作用，附着在行走的切割线上的加工液飞溅被抑制，并且被封在槽道部件的内部空间内。由此，在切割开始点附近形成局部加工液压力高的局部压力上升部。其结果是，通过施加在切割线开始切割工件的切割开始点的周围的压力和切割开始点附近产生的局部压力，切割开始点附近的加工液被压入由切割线形成的工件的切割槽内，能够比以往更多且更有效地供给加工液，能够提高切割性能。而且，抑制了加工液向周围飞溅，不会污损工件或加工室内。第二专利技术在第一专利技术的基础上，线切割机还具备从槽道部件的前端部凸出的法兰部。在此，在槽道部件中接近工件的部分上设有从管道部件的前端部凸出的法兰部。由此，抑制了加工液从工件和槽道部件之间泄漏，切割开始点附近的加工液压力升高，因此，能够比现有线切割机更有效地使加工液进入工件的切割槽的内部。其结果能够防止加工液向周围飞溅，并且通过将加工液向切割槽充分供给来提高切割性能。另外，从工件和槽道部件之间漏出的加工液掉在法兰的背后(上游侧)，从切割线列的外侧回收，能够防止污损工件或加工室内。第三专利技术在第二专利技术的基础上，线切割机中，法兰部相对于工件的相对面平行配置。在此，将为了防止加工液漏出而在槽道部件的前端部上设置的法兰部相对于工件的相对面平行地设置。由此，加工液更加难以从槽道部件的前端和工件与导管部件相对的相对面的空隙泄漏，能够更有效地抑制加工液的飞溅。第四专利技术在第二或第三专利技术的基础上，线切割机中，法兰部由与槽道部件相同的材料形成。由此，能够通过折弯管道部件的前端部来形成法兰，制造容易。第五专利技术在第一～第四专利技术中任一专利技术的基础上，线切割机中，在槽道部件的前端部上设有由弹性体或波纹管(折皱)组成的密封部件。在此，为了进一步抑制加工液的漏出，通过橡胶等弹性部件或波纹管(折皱)形成设置于槽道部件的前端部的密封部件。由此，也能够应对工件的些许的形状变化等，能够更有效地抑制加工液从槽道部件的前端部和工件的相对面之间的空隙漏出。另外，在相对于工件设置槽道部件时，即使不严密地符合工件的相对面和槽道部件的前端部的距离，也能够通过密封部件或波纹管在设置后进行调整。第六专利技术在第五专利技术的基础上，线切割机中，密封部件接触工件。通过接触，能够更有效地抑制加工液从槽道部件的前端部和工件的相对面之间的空隙漏出。第七专利技术在第一～第六专利技术中任一专利技术的基础上，线切割机中，槽道部件的前端部和工件的相对面之间的空隙的大小可变。由此，通过调整空隙，能够改变切割开始点附近产生的压力，因此能够将更适合切割的量的加工液向切割槽供给。第八专利技术在第一～第七专利技术中任一专利技术的基础上，线切割机中，槽道部件的前端部和工件的相对面之间的空隙为9mm以下。在此，以工件和槽道部件的接近部分中的槽道部件的前端和工件相对面的距离为9mm以下的方式配置槽道部件。由此，通过有效抑制加工液从槽道部件的前端和工件的相对面之间的空隙漏出，将加工液充分地向工件的内部供给，能够提高线切割机的切割效率。其结果是，例如，能够降低10％左右的切割线消耗量。第九专利技术在第一～第七专利技术中任一专利技术的基础上，线切割机中，槽道部件的前端部和工件的相对面之间的空隙为7mm以下。在此，以工件和槽道部件的接近部分中的槽道部件的前端和工件相对面的距离在7mm以下的方式配置槽道部件。由此，通过有效抑制加工液从槽道部件的前端和工件的相对面之间的空隙漏出，将加工液充分地向工件的内部供给，能够进一步提高线切割机的切割效率。第十专利技术在第一～第九专利技术中任一专利技术的基础上，线切割机中，加工液供给部只设置于切割线的行走方向的工件的上游侧，或同时设置在上游侧及下游侧。在此，通过将上述加工液供给部只设置在上游侧，例如，平常，在一边使切割线在一定方向上行走，一边进行工件的切割的线切割机中，在使切割线单向行走时，能够使切割开始点附近的加工液的压力上升，有效提高工件的切割效率。另外，通过在相对于工件行走的切割线的行走方向的上游侧和下游侧分别设置槽道部件，例如，在一边切换切割线的行走方向使切割线往复移动，一边进行工件的切割的线切割机中，即使在使切割线在两方向的任一侧行走时，也能够使切割开始点附近的加工液的压力上升，有效提高工件的切割效率。第十一专利技术的线切割机用槽道装置是安装于一边向行走的切割线供给加工液，一边将工件按压在切割线上进行切割的线切割机上的槽道装置，具备：与供给加工液的加工液加压输送装置连通的连通部、配置于工件附近的开口部、切割线通过的内部空间，从切割线的行走方向的上游侧向工件被切割的部分加压输送加工液。在此，在安装于以向行走中的切割线供给加工液并使其附着的状态，使切割线和工件接触从而切割工件的线切割机上的槽道装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线切割机，一边向行走的切割线供给加工液，一边将工件按压在所述切割线上进行切割，其中，具备：加工液供给部，其从所述切割线的行走方向的上游侧对行走中的所述切割线供给所述加工液；移动机构，其使所述工件相对于行走中的所述切割线相对移动，所述加工液供给部具有：加工液加压输送装置，其加压输送所述加工液；槽道部件，其以所述切割线通过其内部，并且其前端部接近所述工件而进行配置，将从连接的所述加工液加压输送装置加压输送的所述加工液向所述切割线和所述工件的相对面的接触部供给。

【技术特征摘要】
2012.02.29 JP 2012-0439531.一种线切割机，一边向行走的切割线供给加工液，一边将工件按压在所述切割线上进行切割，其中，具备：加工液供给部，其从所述切割线的行走方向的上游侧对行走中的所述切割线供给所述加工液；移动机构，其使所述工件相对于行走中的所述切割线相对移动，所述加工液供给部具有：加工液加压输送装置，其加压输送所述加工液；槽道部件，其以所述切割线通过其内部，并且其前端部接近所述工件而进行配置，在将从连接的所述加工液加压输送装置加压输送的所述加工液向所述切割线和所述工件的相对面的接触部供给时，向切割开始点的周围供给施加了压力的所述加工液。2.如权利要求1所述的线切割机，其中，还具备从所述槽道部件的前端部凸出的法兰部。3.如权利要求2所述的线切割机，其中，所述法兰部相对于所述工件的相对面平行配置。4.如权利要求2所述的线切割机，其中，所述法兰部由与所述槽道部件相同的材料形成。5.如权利要求1所述的线切割机，其中，在所述槽道部件的前端部设有由弹性部件或波纹管组成的密封部件。6.如权利要求5所述的线切割机，其中，所述密封部件接触所述工件。7.如权利要求1～6中任一项所述的线切割机，其中，所述槽道部件的前端部和所述工件的相对面之间的空隙的大小可变。8.如权利要求1～6中任一项所述的线切割机，其中，所述槽道部件的前端部和所述工件的相对面之间的空隙为9mm以下。9.如权利要求1～6中任一项所述的线切割机，其中，所述槽道部件的前端部和所述工件的相对面之间的空隙为7mm以下。10.如权利要求1～6中任一项所述的线切割机，其中，所述加工...

【专利技术属性】
技术研发人员：储仁才，森本茂夫，箕西干夫，谷崎启，河津知之，藪洋佑，
申请(专利权)人：小松NTC株式会社，
类型：发明
国别省市：