【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置,其特征是:空心外轴(2)通过推力球轴承(12)和深沟球轴承(13)安装于外壳(6)中部;空心中轴(3)位于空心外轴(2)内部且通过圆锥滚子轴承(10)安装于外壳(6)下部,通气管(4)位于空心中轴(3)内部且其下端固定于空心中轴(3)下部;水冷盘(1)固定连接于空心外轴(2)和空心中轴(3)之上;磁流体旋转接头(9)与通气管下端固定相连;深沟球轴承(13)上安装有顶轴承盖(5),圆锥滚子轴承(10)上安装有底轴承盖(8);外壳(6)上开有入水口(11)和出水口(7),且入水口(11)与空心中轴(3)相连通,出水口(7)与空心外轴(2)相连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:顾正,马福厚,
申请(专利权)人:青岛隆盛晶硅科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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