一种无阀压电微量泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种无阀压电微量泵，包括振动板、泵体（8）和通过螺栓（6）连接在泵体（8）上的上盖板（1），上盖板（1）和泵体（8）之间构成空腔，振动板设置在上盖板（1）和泵体（8）之间，空腔由振动板分隔为进液负压腔和出液压力腔，振动板由振动膜片（2）和环形压电陶瓷片（3）同轴粘接构成，振动膜片（2）中未与环形压电陶瓷片（3）、上盖板（1）及泵体（8）接触的中部圆形区域和外围环形区域均布有锥形孔，锥形孔的大端朝向进液负压腔，小端朝向出液压力腔。本实用新型专利技术的无阀压电微量泵，结构简单、体质轻巧、功率容量大、整机制造装配容易，生产成本低。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种无阀压电微量泵，包括振动板、泵体（8）和通过螺栓（6）连接在泵体（8）上的上盖板（1），所述上盖板（1）和泵体（8）之间构成空腔，其特征在于：所述振动板设置在上盖板（1）和泵体（8）之间，所述空腔由振动板分隔为进液负压腔和出液压力腔，振动板由振动膜片（2）和环形压电陶瓷片（3）同轴粘接构成，振动膜片（2）中未与环形压电陶瓷片（3）、上盖板（1）及泵体（8）接触的中部圆形区域和外围环形区域均布有锥形孔，锥形孔的大端朝向进液负压腔，小端朝向出液压力腔，所述振动膜片（2）和上盖板（1）之间、振动膜片（2）和泵体（8）之间均设置有密封圈。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：殷振，李华，曹自洋，李艳，王广勋，伯洁，黄亚萍，赵峰，姚敬东，任坤，
申请(专利权)人：苏州科技学院，
类型：实用新型
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