一种晶体生长炉制造技术

技术编号:9124519 阅读:173 留言:0更新日期:2013-09-05 20:54
本实用新型专利技术涉及一种晶体生长炉,包括炉体、坩埚、坩埚盖、环形加热器,环形加热器位于炉体内,坩埚位于环形加热器中,其中,坩埚盖的直径大于坩埚外径,略小于内部环形加热器的内径。本实用新型专利技术晶体生长炉的坩埚盖既能作为坩埚盖使用,又能有效地起到顶部隔热屏的作用,降低顶部所需隔热屏的层数,提高保温绝热性能,降低能耗,降低制造成本及生产成本。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶体生长炉,包括炉体、坩埚、坩埚盖、环形加热器,环形加热器位于炉体内,坩埚位于环形加热器中,其特征在于:坩埚盖的直径大于坩埚外径,略小于内部环形加热器的内径。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吕铁铮
申请(专利权)人:江苏有能光电科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1