【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种加湿装置,其特征在于,包括:液缸、进液管、进气管、第一供气管、第一排液管、漏壶、第二供气管以及第二排液管;其中,所述进液管、进气管以及第一排液管均与所述液缸的底部连接;所述第一供气管一端与所述液缸的顶部连接,另一端与所述漏壶的顶部连接;所述第二供气管与所述漏壶的顶部连接;所述第二排液管一端与所述漏壶的底部连接,另一端与所述第一排液管连接;所述液缸上设有多个传感器,所述进液管上设有进液管阀,所述进气管上设有进气管阀,所述第一排液管上设有排液管阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张文武,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造北京有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。