【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于电子产品包装盘的清洗装置,它包括高压氮喷射机构(1),其特征在于:所述高压氮喷射机构(1)一侧设有等离子除静电器(2)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈宁,顾惠军,朱惠鸣,
申请(专利权)人:上海宏科半导体技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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