电子器件和用于制造电子器件的方法技术

提出一种电子器件，所述电子器件具有：第一电极（10）；第二电极（20）；有源区（30），所述有源区与所述第一电极（10）和所述第二电极（20）电耦合；以及壳体（100），其中所述壳体（100）至少在部分区域中包含单原子的碳层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子器件和用于制造电子器件的方法
提出一种电子器件以及一种用于制造所述电子器件的方法。
技术介绍
也被理解为微机械器件，例如基于表面波的或者基于体积波的器件的电子器件的壳体通常需要空腔。迄今以不同的方法生成具有空腔的壳体，例如包括例如在陶瓷上作为间隔保持器和侧边界的框架结构的构造，器件的倒装芯片(Flip-Chip)和用塑料包外壳，或者也可以是晶圆中凹部的生成，用于连接的并且作为侧边界的框架结构的构造，完整的晶圆的倒装芯片和后续的晶圆键合，也就是说化合物的凝固。在此，晶圆例如能够由硅或者铌/钽构成。随后分割芯片。
技术实现思路
本专利技术的至少一个实施形式的目的在于，提供一种包围电子器件的壳体，所述壳体的尺寸减小并且相对于传统的壳体具有改善的稳定性。另一实施形式的目的在于，提供一种用于制造这样的电子器件的方法。所述目的通过一种电声器件以及一种用于制造电声器件的方法来实现。一种电声器件，具有：-第一电极；-第二电极；-有源区，所述有源区与所述第一电极和所述第二电极电耦合，其中，所述有源区包括压电层；以及-壳体，其中，所述壳体至少在部分区域中包含有石墨烯，其中，所述石墨烯作为单层或多层设置在所述电子器件的所述壳体中，使得所述石墨烯作为绝缘层或作为彼此相叠地设置的层存在于所述电子器件的所述壳体中。一种用于制造电声器件的方法，具有如下方法步骤：A)将临时层施加在所述构造上，所述构造包括所述第一电极、所述第二电极和所述有源区；B)将具有开口的第一稳定层设置在所述临时层上；C)通过所述开口移除所述临时层；以及D)将层序列施加在所述第一稳定层上，其中包含石墨烯的层直接施加在空腔上、施加在层序列中或者施加作为封闭所述层序列的层。提出一种电子器件，所述电子器件包括第一电极、第二电极、有源区和壳体，所述有源区与第一电极和第二电极电耦合，其中所述壳体至少在部分区域中包含有单原子的碳层。在本文中，“电耦合”理解为欧姆接触或电磁接触。因此提供一种电子器件，所述电子器件至少在其壳体的部分区域中包含有呈单原子的碳层的形式的合成材料。由于单原子的碳层，所述壳体具有提高的机械稳定性和静态稳定性。此外，单原子的碳层能够是导电的，以至于通过所述单原子的碳层的使用，壳体具有高频(HF)屏蔽功能。可替代地，单原子的碳层例如也能够通过氟来改性，以至于所述单原子的碳层是绝缘的。单原子的碳层能够是平坦的，成形为管，或者部分平坦的并且部分地成形为管。平坦的单原子的碳层能够被称为石墨烯，成形为管的单原子的碳层被称为碳纳米管。因此在壳体的部分区域中能够存在石墨烯、碳纳米管或者石墨烯和碳纳米管的混合物。单原子的碳层的这两种类型具有高的机械和静态稳定性，并且能够构成为能导电的。由于所述特性，单原子碳层能够使用在用于电子器件的壳体中。石墨烯是一种已定义的多环芳香烃，所述多环芳香烃也能够是官能化的。在此，所述石墨烯能够是黄色的或者橙色的固体。其基础结构基于六苯并蔻(HBC)，所述六苯并蔻在大多数溶剂中是不溶解的。这种基础结构例如能够由烷基链来取代，因此被取代的石墨烯在溶剂中是可溶解的。石墨烯既能够柱状地设置为结晶的形式也能够柱状地设置在溶液中。在此，芳核能够直接相叠地设置。柱状的设置被称为自组织并且取决于石墨烯上的取代基、温度和如果设置在溶液中时的浓度构成。通过柱状地设置在溶液中，例如能够制成薄的表面薄膜，所述表面薄膜具有良好的有序层——在理想情况下没有缺陷——和高的载流子迁移率。柱状的设置的石墨烯能够以所谓的边缘上(Edge-on)的设置施加在例如衬底上。在此，各个柱平行于衬底设置。可替代地，石墨烯的柱状的设置能够以所谓的面上(Face-on)定向设置在衬底上。在此，各个柱垂直于衬底设置。这两种设置由于石墨烯层内的高的有序度而出色。石墨烯以及碳纳米管，即单原子的碳层能够设置为电子器件中的单层或多层。因此碳层能够作为绝缘层或者彼此相叠地设置的、能够具有高的有序度的层存在于电子器件的壳体中。特别地，作为多层的设置导致壳体中特别高的机械和静态稳定性。壳体能够是所谓的薄膜封装(thinfilmpackage)，所述壳体是防划的并且保护电子器件的有源区免受环境影响。薄膜封装理解为层序列，所述层序列具有多个彼此相叠地设置的层。为了实现足够的稳定性，到目前为止对此使用厚的氮化物层、氧化物层或者环氧化物层。通过使用单层或多层的单原子的碳层，至少在壳体的部分区域中能够减小壳体厚度，因为单原子的碳层在较薄的实施方案中比迄今的材料具有提高的稳定性。构成为薄膜封装的壳体能够在制造电子器件期间，在所述器件被分割之前就已经被施加在有源区上。名称“上”在这里并且在下文中被理解为一种顺序，所述顺序既包括直接彼此相继的也能够包括彼此相对的设置，其中其它的元件能够设置在彼此相继的元件之间。电子器件能够是电声器件，其中有源区包括压电层。所述压电层例如能够包含AlN。在电子器件中，第一和第二电极能够设置在压电层的一侧上或者设置在压电层的相对侧上。第一种变型方案是基于表面波的器件，其中第二种变型是基于体积波的器件。在电子器件中，第一和/或第二电极能够包括多个相叠地设置的层，以至于产生夹芯结构。例如从包含Ti、Mo、由Ti和Mo构成的混合物、Pt、Ru、W、Al、Cu以及由Al和Cu构成的混合物的组中选择材料。例如能够形成夹芯结构，所述夹芯结构具有下述组成：Ti、Al/Cu、W。另一种可能的夹芯结构具有下述组成：Mo、Ti/Mo、Ru。这样的夹芯结构例如能够形成基于体积波的器件的电极，其中压电层设置在衬底上，第一电极设置在衬底和压电层之间，并且第二电极在压电层上设置在背离衬底的侧上。在此，夹芯结构例如能够形成器件的第一电极。对于夹芯结构的另一示例是Al层或Al/Cu层。这样的电极例如能够形成基于表面波的器件的第一和/或第二电极，其中这两个电极设置在压电层的一侧上。基于表面波的器件的这两个电极能够具有所谓的梳状结构，其中第一和第二电极的梳齿交替地依次设置在压电衬底上。在此，能够分别在第一和第二电极之间构成电磁波。此外，根据另一实施形式，电子器件能够具有壳体，所述壳体具有空腔，所述空腔设置在有源区上。此外，能够在空腔上设置有跨越所述空腔的层序列。因此，所述设置例如能够是如下这样：第一电极，有源区设置在第一电极上，第二电极设置在有源区上，空腔设置在第二电极和有源区上，壳体的层序列设置在空腔上。可替代地，所述构造也可能显示为如下这样：有源区，第一和第二电极设置在有源区上，空腔设置在第一和第二电极和有源区上，壳体的层序列设置在空腔上。层序列能够具有至少一个稳定层，所述稳定层包括单原子的碳层。在此，稳定层能够在层序列内设置为完全包围空腔的层，或者设置为朝外封闭层序列的层。这意味着，稳定层原则上能够设置在壳体的任意位置上。所述稳定层能够设置为，使得其完全地包围空腔。所述稳定层能够例如中心地设置在层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.12.30 DE 102010056562.81.电声器件，具有：
-第一电极(10)；
-第二电极(20)；
-有源区(30)，所述有源区设立为与所述第一电极(10)和所述第二电极(20)电耦合，其中，所述有源区(30)包括压电层；以及
-壳体(100)，
其中，所述壳体(100)是晶圆级薄膜封装，其包含具有多个相叠设置的层的层序列(80)，所述壳体(100)至少在部分区域中包含有石墨烯，所述石墨烯设置为单层或多层。


2.根据权利要求1所述的电声器件，其中，所述第一电极和所述第二电极(10、20)设置在所述压电层(30)的一侧上或者设置在所述压电层(30)的相对侧上。


3.根据权利要求1所述的电声器件，其中，所述壳体(100)具有空腔(60)，所述空腔设置在所述有源区(30)上。


4.根据权利要求3所述的电声器件，其中，在所述空腔(60)上设置有跨越所述空腔的层序列(80)。


5.根据权利要求4所述的电声器件，其中，在所述空腔(60)和所述层序列(80)之间设置有第一稳定层(70)。


6.根据权利要求4所述的电声器件，其中，所述层序列(80)具有至少一个稳定层(81、82、83)，所述稳定层包括石墨烯。


7.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：古德龙·亨，
申请(专利权)人：爱普科斯公司，
类型：
国别省市：