一种实现选择性发射极的方法技术

技术编号:9114431 阅读:137 留言:0更新日期:2013-09-05 03:36
本发明专利技术公开了一种实现选择性发射极的方法,包括以下步骤:对硅片整面进行第一次注入;在所述硅片上方设置具有镂空图案的挡板,透过所述挡板对所述硅片进行二次注入。采用本发明专利技术的方法,可以显著提高离子注入形成的选择性发射极的质量,进而提高后续工艺中制造的电池的效率以及成品率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种实现选择性发射极的方法,其中,包括以下步骤:a)对硅片整面进行第一次离子注入;b)在所述硅片上方设置具有镂空图案的挡板,透过所述挡板对所述硅片进行第二次离子注入。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:单伟韩玮智牛新伟蒋前哨金建波陆川仇展炜
申请(专利权)人:浙江正泰太阳能科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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