基于AlOx/Ag/ZnO结构的高反射高绒度背电极制造技术

一种基于AlOx/Ag/ZnO结构的高反射高绒度背电极，由衬底、对长波光陷光作用显著的大绒面结构的AlOx薄膜、对太阳光具有宽谱域高反射特性的Ag薄膜和介质层ZnO薄膜组成并形成叠层结构，其制备方法是：将清洗处理后的衬底放入沉积系统中，依次沉积AlOx薄膜、Ag薄膜和介质层ZnO薄膜，制得基于AlOx/Ag/ZnO结构的复合背电极。本发明专利技术的优点是：该结构的复合背电极既有由于大绒面结构AlOx薄膜带来的高绒度特征，同时也具有Ag薄膜的高反射特性，可显著提高光在太阳电池中的利用率和转换效率；该复合背电极可广泛用于基于非晶硅、非晶硅锗、微晶硅、微晶硅锗、纳米硅等材料的单结和多结叠层太阳电池。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于AlOx/Ag/ZnO结构的高反射高绒度背电极，其特征在于：由衬底、AlOx薄膜、Ag薄膜和介质层ZnO薄膜组成并形成叠层结构，所述AlOx薄膜具有对长波光陷光作用显著的大绒面结构，AlOx中x为0＜x＜1.5，其表面颗粒尺寸为100?2000nm、表面均方根粗糙度为50?200nm；所述金属Ag薄膜具有对太阳光具有宽谱域高反射特性，其表面颗粒尺寸为10?200nm、表面均方根粗糙度为10?60nm；所述ZnO薄膜的厚度为100?2000nm。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：侯国付，赵静，索松，魏长春，张晓丹，赵颖，
申请(专利权)人：南开大学，
类型：发明
国别省市：