一种热处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种热处理装置。所述热处理装置(100)包括导热板(1)、至少两个冷热源(2，3，4)，所述导热板(1)用于作为导热介质连接在所述至少两个冷热源(2，3，4)与待处理产品之间以对待处理产品进行加热或冷却，所述热处理装置还包括用于选择性地将所述导热板(1)切换成与所述至少两个冷热源(2，3，4)中的一个冷热源(2，3，4)热接触的切换机构(200)。本发明专利技术的热处理装置包括至少两个冷热源，在需要改变制程温度时，可以通过切换机构改变与导热板接触的冷热源，由此快速改变制程温度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置(100)包括导热板(1)、至少两个冷热源(2，3，4)，所述导热板(1)用于作为导热介质连接在所述至少两个冷热源(2，3，4)与待处理产品之间以对待处理产品进行加热或冷却，所述热处理装置还包括用于选择性地将所述导热板(1)切换成与所述至少两个冷热源(2，3，4)中的一个冷热源(2，3，4)热接触的切换机构(200)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：区炜锋，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：